Daftar Isi:
Definisi - Apa Nanolithografi artinya?
Nanolithography adalah cabang nanoteknologi dan nama proses untuk mencetak, menulis atau pola etsa dalam tingkat mikroskopis untuk membuat struktur yang sangat kecil. Proses ini biasanya digunakan untuk membuat perangkat elektronik yang lebih kecil dan lebih cepat seperti mikro / nanochip dan prosesor. Nanolithography terutama digunakan di berbagai sektor teknologi dari elektronik hingga biomedis.Techopedia menjelaskan Nanolithography
Nanolithography adalah istilah luas yang digunakan untuk menggambarkan berbagai proses untuk menciptakan pola skala nano pada media yang berbeda, yang paling umum adalah bahan silikon semikonduktor. Tujuan utama nanolithography adalah menyusutnya perangkat elektronik, yang memungkinkan lebih banyak komponen elektronik dijejalkan ke ruang yang lebih kecil, yaitu, sirkuit terpadu yang lebih kecil yang menghasilkan perangkat yang lebih kecil, yang lebih cepat dan lebih murah untuk diproduksi karena lebih sedikit bahan yang dibutuhkan. Ini juga meningkatkan kinerja dan waktu respons karena elektron hanya perlu menempuh jarak yang sangat pendek.
Beberapa teknik yang digunakan dalam nanolithography adalah sebagai berikut:
- X-ray litografi - Diimplementasikan melalui pendekatan pencetakan kedekatan dan bergantung pada sinar-X medan dekat dalam difraksi Fresnel. Ia diketahui memperpanjang resolusi optisnya menjadi 15 nm.
- Pola ganda - Metode yang digunakan untuk meningkatkan resolusi nada proses litograf dengan mencetak pola tambahan di antara ruang pola yang sudah dicetak dalam lapisan yang sama.
- Elektron-beam direct-write (EBDW) lithography - Proses yang paling umum digunakan dalam litografi, yang menggunakan berkas elektron untuk membuat pola.
- Ekstrim ultraviolet (EUV) litografi - Suatu bentuk litografi optik yang memanfaatkan panjang gelombang cahaya ultrashort 13, 5 nm.
